Für manche Elemente ist die Eindringtiefe sehr klein, so
dass man eher von einer Oberflächenanalyse sprechen kann. Falls nun wie in Abb.36
dargestellt, die RFA zur quantitativen Analyse eingesetzt wird, kommt es darauf
an, dass die analysierte Probe repräsentativ für die Originalprobe ist.
Im ersten Schritt der Probenahme muss sichergestellt sein,
dass eine oder mehrere Durchschnittsproben gezogen werden. Auch kann durch
gezielte Probenteilung die Materialmenge reduziert werden. Im zweiten Schritt
müssen die Proben gemahlen, vermischt und homogenisiert werden. Im dritten
Schritt werden aus dem homogenen Probenmaterial mindestens zwei Proben
präpariert und mit der RFA analysiert.