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Für manche Elemente ist die Eindringtiefe sehr klein, so dass man eher von einer Oberflächenanalyse sprechen kann. Falls nun wie in Abb.36 dargestellt, die RFA zur quantitativen Analyse eingesetzt wird, kommt es darauf an, dass die analysierte Probe repräsentativ für die Originalprobe ist.




Im ersten Schritt der Probenahme muss sichergestellt sein, dass eine oder mehrere Durchschnittsproben gezogen werden. Auch kann durch gezielte Probenteilung die Materialmenge reduziert werden. Im zweiten Schritt müssen die Proben gemahlen, vermischt und homogenisiert werden. Im dritten Schritt werden aus dem homogenen Probenmaterial mindestens zwei Proben präpariert und mit der RFA analysiert.